具有埋设光反射特征的光波导及其制造方法

摘要

本发明涉及制造光波导(100)的方法。通常，它依赖于下覆层(11)、波导芯(26L-481)和诸如镜的光反射特征(23-23c)或基准标记的设置。反射特征和波导芯构成具有开口结构的核心层。然后，施加上覆层聚合物(31)，其埋设光反射特征和波导。因此，施加的上覆层填充由开口结构余下的空余空间。在填充覆层在其位于的水平上之前，核心层的部件在制造工艺期间相应地设在适当位置上。因为光反射特征和波导芯可以高精度设置在下覆层上(在施加上覆层之前)，所以避开了修改(例如，切块)或改进后期置入的光反射特征位置的问题。有利地，波导芯和反射特征扫描二者图案化在下覆层上。反射特征还可由选择性金属化工艺获得。

主权项

一种用于制造光波导(100)的方法，包括以下步骤：‑提供光波导的下覆层(11)；‑在该下覆层上设置光反射特征(23)；‑采用该光反射特征(23)作为标记，在该下覆层上形成与该光反射特征不同的至少一个波导芯(26‑28)；‑施加埋设该光反射特征和该波导芯的上覆层(31)；‑移除部分该上覆层(31)，以显现该光反射特征(23)；以及‑通过机械匹配该光反射特征与外部部件的对准凸柱，将该光波导与该外部部件对准。