一种多晶硅铸锭炉助凝块外进气气冷装置及多晶硅铸锭炉

摘要

一种多晶硅铸锭炉助凝块外进气气冷装置及多晶硅铸锭炉。该气冷装置包括主供气管（1），阀门（3），外进气管（6），内进气管（8），助凝块（10）；所述主供气管（1）与阀门（3）之间通过第一连接管（2），阀门（3）与外进气管（6）之间设有流量计（5），内进气管（8）连接外进气管（6），内进气管（8）伸入助凝块（10）中心孔（11）内。本发明通过独特的结构设计，可以将冷却气体引入助凝块（10）中，对助凝块（10）进行冷却，提高了助凝块（10）的散热能力，从而可以提高坩埚内硅熔体的冷却结晶速率，提高定向凝固的效率，同时使硅熔体形成相当的过冷度，产生合适的硅孪晶结构，提高多晶硅铸锭质量。

主权项

一种多晶硅铸锭炉助凝块外进气气冷装置，包括主供气管（1），阀门（3），外进气管（6），内进气管（8），助凝块（10）；所述主供气管（1）与阀门（3）由第一连接管（2）连接；所述阀门（3）与外进气管（6）连接；所述内进气管（8）与外进气管（6）连接，内进气管（8）伸入助凝块（10）中心孔（11）内。