发明名称 Verfahren zum Herstellen von Dielektrika aus Halbleiter- und ferroelektrischen Materialien,insbesondere fuer Entkopplungskondensatoren in monolithischen bzw. integrierten Schaltungen
摘要
申请公布号 DE1564163(A1) 申请公布日期 1970.01.22
申请号 DE19661564163 申请日期 1966.07.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 AMIE DELANEY,RONALD;KARL SPIELBERGER,RICHARD
分类号 C04B35/465;H01B1/08;H01B3/02;H01G4/12;H01G7/02;H01L21/00 主分类号 C04B35/465
代理机构 代理人
主权项
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