一种机械滚动研磨酸性电镀铜的摇摆装置

摘要

本发明公开了一种机械滚动研磨酸性电镀铜的摇摆装置，其结构特点是：竖直振动器的振荡部件连接传动杆，传动杆连接传动板，传动板插入水平放置的轴承支撑板的槽中，并将两个轴承固定于轴承支撑板槽口的两个侧面的位置的通孔中，轴承支撑杆的两端分别固定于固定支架上，在轴承支撑板上固定设置试样台，试验台和轴承支撑板的重心位于同一条垂直水平面的直线上，在试样台上平行于轴承支撑杆上的两端分别固定设置一固定杆，并且在固定杆另一头固定一根固定线。本发明的技术效果是：结构简单，成本低，容易操作，使用方便，可使得镀槽中的直径为6mm的玻璃小球在试样表面做以滚动为主的运动，使得镀铜层晶粒尺寸显著减小。

主权项

一种机械滚动研磨酸性电镀铜的摇摆装置，主要包括竖直振荡器、传动杆、传动板、轴承支撑板、摇动定位钢丝、轴承、轴承支撑杆、固定支架、试样台、固定杆和固定线；其特征在于：竖直振动器的振荡部件竖直连接传动杆的一端，在传动杆的另一端水平连接传动板的一端，传动板的另一端插入水平放置的轴承支撑板的槽中，在轴承支撑板槽口处平行于槽口两长边的方向分别固定一根摇动定位钢丝，在轴承支撑板槽口左右的两个侧面的中央位置打一个通孔，并将两个轴承固定于通孔中，将轴承支撑杆插入轴承中并与轴承内环固定紧，轴承支撑杆的两端分别固定于固定支架上，在轴承支撑板上固定设置试样台，试验台和轴承支撑板的重心位于同一条垂直水平面的直线上，在试样台上平行于轴承支撑杆上的两端分别固定设置一固定杆，并且在固定杆另一头固定一根固定线。