碳化钛微粒子的制造方法

摘要

本发明的碳化钛微粒子的制造方法包括：将钛或钛氧化物的粉末供给至热等离子体焰中的步骤；以及将冷却用气体与作为碳源的反应性气体供给至热等离子体焰的终端部，生成碳化钛微粒子的步骤。改变反应性气体的供给量以改变所生成的碳化钛微粒子的氧含量。藉此可生成例如体积电阻值不同的碳化钛微粒子。

主权项

一种碳化钛微粒子的制造方法，其特征在于，具有使用钛或钛氧化物的粉末、碳源与热等离子体焰来生成碳化钛微粒子的生成步骤；在所述生成步骤中，通过改变所述碳源的量来改变所生成的碳化钛微粒子的氧含量。