一种用于扩散炉的防爆源瓶

摘要

本发明公开了一种用于扩散炉的防爆源瓶，通过在源瓶的进气管路和出气管路分别设置压力传感器和泄压分路，可及时检测源瓶内的压力是否符合设定值，并通过压力控制器控制泄压分路的泄压阀开度及时泄压，实现既能保证扩散工艺时正常的工作压力，又能起到安全保护的功能。

主权项

一种用于扩散炉的防爆源瓶，所述源瓶用于装存反应源，其通过进气管路连通至载气源，用于向所述源瓶内通入载气，通过出气管路连通至所述扩散炉的工艺管，用于向所述工艺管通出由载气携带的反应源气体，其特征在于，所述进气管路设有压力传感器，用于检测所述源瓶内的压力，所述出气管路并联设有泄压分路,所述泄压分路设有泄压阀,所述泄压阀具有第一开度，所述压力传感器、所述泄压阀分别连接压力控制器；所述压力控制器通过判断所述压力传感器采集的所述源瓶内的压力是否超过阈值，控制所述泄压阀的开度；其中，当所述源瓶内的压力超过阈值时，执行调整所述泄压阀至第二开度，将所述源瓶内的气体由所述泄压分路排出，对所述源瓶进行泄压，使所述源瓶内的压力符合设定值，当泄压后所述源瓶内的压力符合设定值时，执行调整所述泄压阀恢复至第一开度。