使用气体预热法的低温CNT生长

摘要

合成碳纳米管(CNT)的方法包括以下步骤：提供生长室，所述生长室被加热至足够高以促进碳纳米管生长的第一温度；和使基底通过所述生长室；以及将原料气引入所述生长室，所述生长室已被预热至足以将所述原料气的至少一些分解为至少游离碳自由基的第二温度，从而在所述基底上引发碳纳米管的形成。

主权项

合成碳纳米管(CNT)的方法，包括以下步骤：提供生长室，所述生长室被加热至足够高以促进碳纳米管生长的第一温度；使基底通过所述生长室；加热工艺气体至超过第二温度的温度；将包含碳化合物的原料气与加热的工艺气体混合，以产生所述原料气和所述工艺气体的预热混合物，所述原料气和所述工艺气体的预热混合物具有所述第二温度，其中所述第二温度足以将所述原料气的至少一些分解为至少游离碳自由基；和将所述预热的原料气和工艺气体混合物引入所述生长室，其中所述游离碳自由基在所述基底上引发碳纳米管的形成。