发明名称 铜片退火支架
摘要 本实用新型提供一种用于覆铜基板生产过程中的铜片退火支架,包括主体框架,主体框架为端口固定的多边形,主体框架采用不锈钢材质。铜片退火更加均匀稳定,铜片在退火过程中不会被污染。
申请公布号 CN204204824U 申请公布日期 2015.03.11
申请号 CN201420654816.1 申请日期 2014.11.05
申请人 南京中江新材料科技有限公司 发明人 冯家云;黄礼侃;尚海瑞
分类号 H01L21/683(2006.01)I 主分类号 H01L21/683(2006.01)I
代理机构 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人 汤东凤
主权项 一种铜片退火支架,包括主体框架,其特征在于:所述主体框架为端口固定的多边形,所述主体框架为不锈钢材质制成。
地址 211161 江苏省南京市江宁区江宁街道盛安大道739号1幢