Vibrationsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vibrationsvorrichtung

摘要

Eine Vibrationsvorrichtung, die einen Abstützbereich umfasst, der derart gebildet ist, dass er beide Enden einer Vibrationsregion bedeckt, sowie ein Verfahren zur Herstellung der Vibrationsvorrichtung werden vorgeschlagen. Die Vibrationsvorrichtung kann ein unteres Substrat umfassen, an dem eine Isolierschicht gebildet ist, ein oberes Substrat, das an die Isolierschicht angeschlossen ist, und kann eine Vibrationsregion umfassen, die vibriert und die von dem unteren Substrat um wenigstens einen vorbestimmten Abstand getrennt ist, sowie einen Abstützbereich, der derart gebildet ist, dass er beide Enden der Vibrationsregion bedeckt, um die Vibrationsregion abzustützen.