一种掺铝氧化锌薄膜的制备方法

摘要

本发明属于光电材料制备领域，提供了一种掺铝氧化锌薄膜的制备方法，所述方法包括：将醋酸锌溶于溶剂中后，加入稳定剂进行搅拌，然后再加入硝酸铝继续进行搅拌，静置陈化，得到凝胶；将所述凝胶在基板上进行涂膜、干燥和预热处理，得到薄膜；将所述薄膜在不同气氛中、不同温度下进行热处理后冷却，得到掺铝氧化锌薄膜。本发明中，采用溶胶-凝胶工艺来制备掺铝氧化锌薄膜，由于溶胶-凝胶法工艺简单，可精确控制化学计量比，与真空法相比不需要大型设备，可大面积沉积，能大幅降低生产成本，对规模化生产具有重要的意义，另外，制备掺铝氧化锌薄膜的原料来源丰富，成本低廉。

主权项

一种掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：制备凝胶：将醋酸锌溶于乙二醇甲醚中后，加入稳定剂进行搅拌，然后再加入硝酸铝继续进行搅拌，静置陈化，得到凝胶，其中，所述醋酸锌与硝酸铝的摩尔比为0.8%‑2%；制备薄膜：将所述凝胶在基板上进行涂膜、干燥和预热处理，得到薄膜； 制备掺铝氧化锌薄膜：将所述薄膜在不同气氛中、不同温度下进行热处理后冷却至室温，得到掺铝氧化锌薄膜。