元件夹持装置

摘要

本发明提供了一种元件夹持装置，包括：夹持框，用于对元件施加夹持力以固定元件；压力采集单元，用于采集夹持框对元件施加的夹持力，并将夹持力输入到控制单元；控制单元，用于至少根据预设的元件期望变形量，计算夹持框的应该施加的夹持力值，然后驱动夹持框以所述夹持力值对元件施加夹持力。本发明元件夹持装置根据元件的受力情况来调整夹持点的位置以及施加的夹持力，减少了光学元件的变形。

主权项

一种元件夹持装置，其特征在于，包括：夹持框，用于对元件施加夹持力以固定元件；压力采集单元，用于采集夹持框对元件施加的夹持力，并将夹持力输入到控制单元；温度/湿度采集单元，用于采集夹持框工作环境的温度值和湿度值，并将温度值和湿度值输入到控制单元；控制单元，用于根据预设的元件期望变形量和夹持框工作环境的温度值和湿度值，计算夹持框应该施加的夹持力值，然后驱动夹持框以所述夹持力值对元件施加夹持力。