一种注入机固体进料方法

摘要

本发明公布了一种注入机固体进料的方法，真空密封的固体进料装置安装在离子源进气口上，装置上面开有激光透射窗，高功率激光通过透射窗打在装置内需要气化的固体物质上面，使固体气化，气化后的物质通过进气孔到达离子源放电室，在里面变为离子，再通过高压引出注入到工件上面。该方法不需要高温加热，结构简单，并且能量利用率高，可靠性好，具有很高的实用价值，相比现有高温加热送料方法，它产生离子的种类更多，有很高的实用价值。

主权项

一种注入机固体进料方法，采用高功率激光，直接对待气化原料进行加热蒸发，气化后的原料通过离子源进气孔进入离子源放电室被电离形成等离子体，再通过高压加速注入到工件内部。