| 发明名称 | 分离、至少部分干燥以及检验电子元件的设备和方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于分离、至少部分干燥和检验电子元件的方法，包括：分离装置、承载电子元件的载体、用于产生辐射热的加热源、用于将承载电子元件的载体相对于加热源移位的移位装置，以及目检装置。加热源配置用于产生辐射热，以便选择性地加热和蒸发分离后电子元件上的水分。 | ||
| 申请公布号 | CN104396001A | 申请公布日期 | 2015.03.04 |
| 申请号 | CN201380034390.8 | 申请日期 | 2013.07.03 |
| 申请人 | 贝斯荷兰有限公司 | 发明人 | J·H·G·赫斯特德 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/268(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人 | 尹振启 |
| 主权项 | 一种分离、至少部分干燥和检验电子元件的设备，包括：－用于将较大的整块电子元件分割成分离的电子元件的分离设备；－承载分离后电子元件的载体；－用于产生辐射热的加热源；－将承载分离后电子元件的载体相对于所述加热源进行移位的移位装置；以及－用于检验分离后电子元件的目检装置；其中，所述加热源配置成产生波长在1μm～5μm范围内的辐射热。 | ||
| 地址 | 荷兰德伊芬 | ||