用于电气测量平面的、可单侧接通的测量结构的测量装置

摘要

本发明涉及一种用于电气测量可单侧在测量面上电接通的测量结构、尤其是光电元件如太阳能电池的测量装置，具有至少两个用于电接通测量结构的接通单元和至少一个用于使测量结构以测量面平铺在支承元件上的支承元件。重要的是，测量装置具有至少一个用于连接吸气单元的吸气管道和至少一个与吸气管道导流连接的吸气孔，吸气孔这样设置在支承元件中和/或上，使得测量结构可通过吸气孔的吸引压紧在支承元件上，并且，在测量结构平铺到支承元件上时，接通单元可压紧到测量结构的测量面上，以便电接通测量结构。

主权项

一种用于电气测量可单侧在测量面上电接通的测量结构(8)的测量装置(1、21)，具有至少两个用于电接通测量结构(8)的接通单元(3、3'、23、23'、33、33')和至少一个用于使测量结构(8)以测量面平铺在支承元件(2、22、32)上的支承元件(2、22、32)，这样设置支承元件(2、22、32)和接通单元(3、3'、23、23'、33、33')，使得平铺在支承元件(2、22、32)上的测量结构(8)可通过接通单元在测量面上导电接通，所述至少两个接通单元彼此电绝缘，其中，所述测量装置(1、21)具有至少一个用于连接吸气单元的吸气管道(6、26)和至少一个与吸气管道(6、26)导流连接的吸气孔，吸气孔这样设置在支承元件(2、22、32)中和/或上，使得测量结构(8)可通过吸气孔的吸引压紧在支承元件(2、22、32)上，并且其中，所述接通单元(3、3'、23、23'、33、33')可相对于支承元件(2、22、32)移动设置，所述测量装置(1、21)还具有运动单元，运动单元与接通单元(3、3'、23、23'、33、33')作用连接，使得在测量结构(8)平铺到支承元件(2、22、32)上时，接通单元借助运动单元有选择地压紧到平铺在支承元件(2、22、32)上的测量结构(8)上，以便电接通测量结构，并且，这样设计测量装置(1、21)，使得接通单元(3、3'、23、23'、33、33')压紧到测量结构(8)上时，测量结构(8)仅通过吸引和测量结构(8)的重力压紧到支承元件(2、22、32)上，并且其中，所述运动单元具有至少一个第一真空室(4、24、24'、34)，每个所述第一真空室在一侧与吸气管道(6、26)连接，在另一侧与至少一个吸气孔导流连接，第一真空室(4、24、24'、34)的体积可通过在第一真空室(4、24、24'、34)中形成负压而进行压缩，并且，这样在每个第一真空室(4、24、24'、34)中设置至少一个接通单元，使得第一真空室(4、24、24'、34)压缩引起接通单元压紧到平铺在支承元件(2、22、32)上的测量结构(8)的测量面上，其特征在于，所述运动单元具有至少一个延迟元件，该延迟元件与接通单元(3、3'、23、23'、33、33')共同作用，使得在接通单元借助运动单元移动时，接通单元的移动速度通过延迟元件减小，所述延迟元件构造为延迟真空室(7、34')，该延迟真空室与第一真空室(4)共同作用，使得第一真空室(4)的压缩通过延迟真空室(7)中的负压延迟，其中，所述测量结构布置在所述第一真空室的外侧。