| 发明名称 | 一种适用于过滤电子级磷酸的滤料 | ||
| 摘要 | 一种适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是：包括两层在PTFE滤布，所述两层PTFE滤布上设置圆孔，所述两层PTFE滤布上圆孔之间设置有PTFE圆形通道，所述PTFE圆形通道的长度为8~12mm，所述PTFE滤布为高缜密基布，所述PTFE滤布的内表面覆有Gore膜，所述PTFE滤布的外表面附有PTFE膜。采用Gore膜对磷酸进行过滤,通过与PTFE滤布的复合使用，代替通常使用的化纤滤布进行过滤,可以控制微粒要求0.2μm以下，满足工厂适用于大规模集成电路加工工艺，用于小于0.09-0.20um线宽电路蚀刻。 | ||
| 申请公布号 | CN204182188U | 申请公布日期 | 2015.03.04 |
| 申请号 | CN201420595433.1 | 申请日期 | 2014.10.15 |
| 申请人 | 洛阳盛洁环保科技有限公司 | 发明人 | 王立平;王国强;耿瑞娟;王东辉;张颖 |
| 分类号 | B01D29/05(2006.01)I;B01D29/58(2006.01)I;C01B25/234(2006.01)I | 主分类号 | B01D29/05(2006.01)I |
| 代理机构 | 洛阳市凯旋专利事务所 41112 | 代理人 | 符继超 |
| 主权项 | 一种适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是：包括两层PTFE滤布（1）， 所述两层PTFE滤布（1）上设置圆孔，所述两层PTFE滤布上圆孔之间设置有PTFE圆形通道（4），所述PTFE圆形通道（4）的长度为8~12mm，所述PTFE滤布（1）为高缜密基布，所述PTFE滤布（1）的内表面覆有Gore膜（5），所述PTFE滤布的外表面附有PTFE膜（2）。 | ||
| 地址 | 471000 河南省洛阳市高新技术开发区青城路北端 | ||