| 发明名称 |
レジスト下層膜用芳香族環含有重合体およびこれを含むレジスト下層膜組成物 |
| 摘要 |
<p>An aromatic ring-containing polymer for an underlayer of a resist, including a unit structure represented by Chemical Formula 1:</p> |
| 申请公布号 |
JP5681208(B2) |
申请公布日期 |
2015.03.04 |
| 申请号 |
JP20120546981 |
申请日期 |
2010.10.11 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
G03F7/11;C08F234/00;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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