发明名称 一种用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置
摘要 一种用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置,它涉及一种物理光学技术领域的洁净度保持装置和方法。本发明解决了激光通过光学元件时会产生气溶胶,污染光学元件表面,光学元件表面需要进一步的清理,目前还没有合适的装置来实现保持激光传输光学元件的洁净度问题。用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置包括进气端气体输送导管、不锈钢气刀、出气端组件;不锈钢气刀和出气端组件相对应安装在光学组件壳体上,不锈钢气刀和出气端组件的安装位置与光学组件壳体内的大口径光学组件相对应,进气端气体输送导管连接在不锈钢气刀的进气口处。本发明用于保持激光传输光学组件的洁净度。
申请公布号 CN103230900B 申请公布日期 2015.03.04
申请号 CN201310155856.1 申请日期 2013.04.28
申请人 哈尔滨工业大学 发明人 曹永智;卢礼华;于福利;张庆春;梁迎春
分类号 B08B5/02(2006.01)I 主分类号 B08B5/02(2006.01)I
代理机构 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 代理人 牟永林
主权项 一种用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置,其特征在于:用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置包括进气端气体输送导管(1)、不锈钢气刀(2)、出气端组件(3);不锈钢气刀(2)和出气端组件(3)相对应安装在光学组件壳体(4)上,不锈钢气刀(2)和出气端组件(3)的安装位置与光学组件壳体(4)内的大口径光学组件(5)相对应,进气端气体输送导管(1)连接在不锈钢气刀(2)的进气口(2‑1)处,进气端气体输送导管(1)内的气体进入不锈钢气刀(2)的高压腔(2‑2)并沿喷嘴(2‑3)喷出,高速气流在气刀转角(2‑4)处随其外形表面偏转90°并带动周围空气移动。
地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号