发明名称 SiO<sub>2</sub>-TiO<sub>2</sub>系玻璃的制造方法、含有SiO<sub>2</sub>-TiO<sub>2</sub>系玻璃的板状构件的制造方法、制造装置以及SiO<sub>2</sub>-TiO<sub>2</sub>系玻璃的制造装置
摘要 SiO<sub>2</sub>-TiO<sub>2</sub>系玻璃的制造方法通过直接法在靶上制造SiO<sub>2</sub>-TiO<sub>2</sub>系玻璃,其包括:第一工序,预先加热靶;第二工序,使规定长度的SiO<sub>2</sub>-TiO<sub>2</sub>系玻璃坯料在被预先加热了的靶上成长;在第一工序中对靶加热,以使得在第二工序中玻璃坯料的成长面的温度维持在规定的下限温度以上。
申请公布号 CN104395248A 申请公布日期 2015.03.04
申请号 CN201380034214.4 申请日期 2013.06.27
申请人 株式会社尼康 发明人 吉成俊雄;齐藤忠彦
分类号 C03B8/04(2006.01)I;C03B11/00(2006.01)I;C03B20/00(2006.01)I 主分类号 C03B8/04(2006.01)I
代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 杨宏军;李文屿
主权项 一种SiO<sub>2</sub>-TiO<sub>2</sub>系玻璃的制造方法,其通过直接法在靶上制造SiO<sub>2</sub>-TiO<sub>2</sub>系玻璃,其中,该制造方法包括:第一工序,预先加热上述靶;第二工序,使规定长度的SiO<sub>2</sub>-TiO<sub>2</sub>系玻璃坯料在被预先加热的上述靶上成长;在上述第一工序中对靶加热,以使在上述第二工序中上述玻璃坯料的成长面的温度维持在规定的下限温度以上。
地址 日本东京都
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