一种磁控溅射镀膜生产线的抽气阀装置

摘要

本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜生产线的抽气阀装置，包括呈方形的阀体、阀盖、气缸、2个扩散泵和连接管，所述阀体的下面设有阀口，所述阀口通过连接管与磁控溅射镀膜生产线的真空镀膜室连接，所述阀盖安装于气缸的伸缩杆；2个所述扩散泵均安装于阀体的下面，2个所述扩散泵的抽气口与阀体的内腔连通，且2个所述扩散泵分别位于连接管抽两侧；当扩散泵停止抽气时，所述阀盖与连接管密封连接。本实用新型提高了抽真空的效率，同时使真空镀膜室的真空度更高。

主权项

一种磁控溅射镀膜生产线的抽气阀装置，其特征在于：包括呈方形的阀体、阀盖、气缸、2个扩散泵和连接管，所述阀体的下面设有阀口，所述阀口通过连接管与磁控溅射镀膜生产线的真空镀膜室连接，所述阀盖安装于气缸的伸缩杆；2个所述扩散泵均安装于阀体的下面，2个所述扩散泵的抽气口与阀体的内腔连通，且2个所述扩散泵分别位于连接管抽两侧；当扩散泵停止抽气时，所述阀盖与连接管密封连接。