化学机械抛光装置用扣环结构物及其制造方法;RETAINER RING STRUCTURE FOR CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING MACHINE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

摘要

本发明涉及化学机械抛光装置用扣环结构物及其制造方法，包括如下步骤：在金属材料的插入环的上面形成用于与上述化学机械抛光装置的头部结合的多个孔；将树脂材料的多个插入销与上述插入环的多个孔结合，其中，上述树脂材料的多个插入销包括具有上面开放的中空部的销体和以沿长度方向的方式形成在上述销体的侧面的一个以上长槽部；将与上述插入销结合的上述插入环安装到模具，将树脂材料注塑，由树脂材料包围上述插入环而形成外部环；及对上述插入销进行攻牙(tapping)加工。根据上述方法，防止由树脂材料环来包围的金属材料环向外部暴露，能预防金属材料环受到污染和腐蚀，提高耐久性，使用低成本的金属材料，能减少制造成本，达到提高商品价值的效果。; an insert pin made of resin, including a body having a hollow portion of which the top surface is opened and one or more elongated grooves formed at side surfaces thereof in a longitudinal direction, and press-fitted into a hole of the insert ring so as to be subjected to a tapping process; and an outer ring formed to surround the insert pin and the insert ring.