| 主权项 |
一种照明装置，所述照明装置用来自光源的光照明被照射面，所述照明装置包括：空间光调变器，具有二维地设置的多个反射表面，所述各反射表面的姿态彼此独立地受控；聚光系统，把来自所述空间光调变器的所述多个反射表面的光汇聚在所述照明装置的光路中的预定面上；蝇眼光学系统，具有在该预定面上二维地设置的多个光学面，并且用所述聚光系统而来的光在照明光瞳面上形成预定的光瞳强度分布；以及控制单元，控制所述空间光调变器的该些反射表面，其中该控制单元控制从该些反射表面中的第1群的反射表面而来的光到达该预定面上的第1部分，以此控制该第1群的反射表面，且控制该些反射表面中从与该第1群不同的第2群的反射表面而来的光到达该预定面上与该第1部分不同的第2部分，以此控制该第2群的反射表面，且控制该些反射表面中从与该第1群及该第2群不同的第3群的反射表面而来的光到达该预定面上与该第1部分及该第2部分不同的第3部分，以此控制该第3群的反射表面，其中，该第1群、该第2群及该第3群的反射表面的数量彼此不同，其中，该第1部分、该第2部分及该第3部分的光强
度彼此不同。
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