检测微区域应力之方法与系统

主权项

一种检测微区域应力之方法，包括以下步骤：提供一基底，其表面为非导电之物质结构；在该基底表面上至少选择一微小区域均匀的布设一导电线路；通电至该导电线路，使电流流过该导电线路并产生热焦耳效应；侦测该导电线路上之热影像；以及分析该热影像以获得该基底表面应力结构之资讯。