发明名称 |
层合体的制造方法及层合体;METHOD FOR PRODUCING LAMINATE AND LAMINATE |
摘要 |
本发明提供一种层合体(21)之制造方法,该层合体具备基板(11)、支撑基板(11)之光透过性支撑板(12)、及设置于基板(11)与支撑板(12)之间之藉由吸收透过支撑板(12)所照射之光而变质之第一分离层(15),其系藉由使用含有具有不饱和键之有机化合物与氟化合物之反应气体进行电浆处理,而形成第一分离层(15)。 |
申请公布号 |
TW201507861 |
申请公布日期 |
2015.03.01 |
申请号 |
TW103123485 |
申请日期 |
2014.07.08 |
申请人 |
东京应化工业股份有限公司 TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. |
发明人 |
松下淳 MATSUSHITA, ATSUSHI;御岳达弘 MITAKE, TATSUHIRO |
分类号 |
B32B7/06(2006.01);B32B7/12(2006.01);H01L21/683(2006.01) |
主分类号 |
B32B7/06(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
主权项 |
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地址 |
日本 JP |