| 主权项 |
一种半导体元件测试及分类设备，包含：一晶圆载台(11)；一旋转检测台(12)，邻近设置于该晶圆载台(11)，该旋转检测台(12)包含复数个半导体元件承座(121)，该些半导体元件承座(121)环绕该旋转检测台(12)中心排列，并以该旋转检测台(12)的中心为轴心依序旋转至一放置位置(101)、一测试位置(102)及一取出位置(103)，该放置位置(101)邻近该晶圆载台(11)；一第一取放机构(13)，邻近设置于该旋转检测台(12)及该晶圆载台(11)，藉以自该晶圆载台(11)上拾取一半导体元件(111)并放置至旋转至该旋转检测台(12)之该放置位置(101)之一该些半导体元件承座(121)上；一测试机构(14)，邻近设置于该旋转检测台(12)之该测试位置(102)，藉以对从该放置位置(101)旋转至该测试位置(102)上之该半导体元件承座(121)上之该半导体元件(111)进行测试；其特征在于：半导体元件测试及分类设备进一步包含：一半导体元件收纳机构(15)，邻近设置于该旋转检测台(12)之该取出位置(103)，包含一滚筒装置(151)，该滚筒装置(151)环设有复数个管状收纳单元(17)，该些管状收纳单元(17)分别对应容置不同分类等级的该半导体元件(111)；一第二取放机构(16)，邻近设置于该旋转检测台(12)及该半导体元件收纳机构(15)，藉以自旋转至该旋转检测台(12)之该取出位置(103)之该半导体元件承座(121)上拾取该半导体元件(111)，并放置至该滚筒装置(151)上一该些管状收纳单元(17)中；一第一收纳单元堆叠模组(18)，邻近设置于该滚筒装置(151)，容置有空的该些管状收纳单元(17)；以及一第二收纳单元堆叠模组(19)，设置于该滚筒装置(151)一侧，该第二收纳单元堆叠模组包含复数个堆叠位置(191)，各个堆叠位置(191)容置有已装载相同分类等级之该半导体元件(111)之该些管状收纳单元(17)；其中，该半导体元件收纳机构(15)进一步包含一收纳单元移送装置(152)，其移动于该滚筒装置(151)、该第一收纳单元堆叠模组(18)及该第二收纳单元堆叠模组(19)之间，藉以将已装满该半导体元件(111)之该些管状收纳单元(17)从该滚筒装置(151)移载至对应之该些堆叠位置(191)，以及将空的该些管状收纳单元(17)从该第一收纳单元堆叠模组(18)移载至该滚筒装置(151)上所空出的位置。 |
