| 主权项 |
一种硒化氢制造装置，其特征在于包含：反应炉，其于预先所设定之加热温度下使原料之金属硒与氢气接触而生成气体状之硒化氢；氢气投入路径，其将上述氢气投入至该反应炉中；金属硒投入路径，其将上述金属硒投入至上述反应炉中；反应气体抽出路径，其自反应炉中抽出上述反应炉中所生成含有气体状之硒化氢的反应气体；及硒化氢收集器，其于预先所设定之冷却温度下收集抽出至该反应气体抽出路径之反应气体中之上述硒化氢；并且包含复数个加热冷却器，其交替地切换冷却操作与加热操作，上述冷却操作系冷却自上述反应炉抽出至上述硒化氢收集器之上述反应气体，而使反应气体中所包含之未反应金属硒、及所生成之硒化氢再分解后所得之金属硒凝结并进行收集；上述加热操作系藉由对自上述氢气投入路径导入至上述反应炉之氢气进行加热，而使上述冷却操作中所收集之金属硒气化从而将其与氢气一起投入至上述反应炉中；上述金属硒投入路径包含：金属硒投入容器、设置于该金属硒投入容器与上述反应炉之间的投入路径开闭手段、及用于替换上述金属硒投入容器内之气体之冲洗路径；上述硒化氢收集器包含气体循环路径，其自硒化氢收集器将于上述硒化氢收集器中收集硒化氢后之上述反应气体抽出并使其返回至上述氢气投入路径。 |
