| 摘要 |
種々の実施形態では、使用済みスパッタリングターゲットが、ターゲット材料の噴霧堆積の間、噴霧堆積ガンとターゲットの陥没表面輪郭との間に大傾斜角を維持することによって、少なくとも部分的に、復元される。本発明の実施形態は、不規則表面の各局所化された部分と噴霧堆積噴流（すなわち、堆積装置から推進され、ターゲット表面に衝打する、粉末流）との間の傾斜角を約４５?を上回って（好ましくは、約６０?を上回って）維持することによって、噴霧堆積（例えば、冷間噴霧）を介して、使用済み（すなわち、侵食された）スパッタターゲットの効率的かつ効果的復元を可能にする。 |
