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<p>Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozessanordnung (100) Folgendes aufweisen: eine Haltevorrichtung (102) aufweisend einen ersten Bereich (104) zum Aufnehmen einer Prozessierquelle (108) und einen zweiten Bereich (106) eingerichtet zum drehbaren und/oder schwenkbaren Befestigen der Haltevorrichtung (102) in einer Prozesskammer, eine in dem ersten Bereich (104) der Haltevorrichtung aufgenommene Prozessierquelle (108) eingerichtet zum Prozessieren eines Trägers in der Prozesskammer, wobei der erste Bereich (104) zum zweiten Bereich (106) versetzt angeordnet ist, so dass mittels Drehens und/oder Schwenkens der Haltevorrichtung (102) ein Prozessabstand zwischen einem in der Prozesskammer prozessierten Träger und der Prozessierquelle (108) verändert werden kann.</p> |
