耐老化特性优良的振子用电极材料及使用该材料的压电振子、以及由该材料构成的溅射靶材

摘要

本发明提供能够使振子的制造时不均性及耐老化性比Au良好、成本比Au低的电极材料。本发明为振子用电极材料，其由Au和两种金属M1、M2形成的三元类合金构成，用作在压电片中激发振动的激励电极，其中上述两种金属M1、M2为以下金属：(a)金属M1：压电振子的频率经时特性(Δf1/f1)相对于基准值f1有减小的倾向的金属；(b)金属M2：压电振子的频率经时特性(Δf1/f1)相对于基准值f1有增加的倾向的金属。优选金属M1为Ag、Al、Ni，金属M2为Pd、Ru、Pt、Ir、Rh、Cu。

主权项

一种振子用电极材料，其由Au和两种金属M1、M2形成的三元类合金构成，用作在压电片中激发振动的激励电极，其特征在于，所述金属M1为Ag、Al、Ni中的至少任一种，所述金属M2为Pd、Ru、Pt、Ir、Rh、Cu中的至少任一种，而且，Au质量百分浓度为20～70％，M1、M2的总质量百分浓度为80～30％。