磁性轴承装置及真空泵

摘要

本发明提供一种可谋求提高移位信息的S/N比的磁性轴承装置以及真空泵。在本发明的磁性轴承装置中，以相对于施加至X1轴的传感器(71x)的第一载波信号相位存在(π/2+θ)弧度的差异的方式设定施加至Y1轴的传感器(71y)的第二载波信号，且在从第一载波信号成为波峰的时点偏移相位θ后的取样时点，对从第一传感器(71x)输出的第一调制信号进行取样，并且在从第二载波信号成为波峰的时点偏移相位(-θ)后的取样时点，对从第二传感器(71y)输出的第二调制信号进行取样。其结果为，可去除因邻接轴的干涉而产生的噪声成分。

主权项

一种磁性轴承装置，其特征在于包括：第一径向电磁铁，在第一径向方向上非接触支持旋转轴；第二径向电磁铁，在第二径向方向上非接触支持所述旋转轴；第一载波产生部，产生第一载波信号；第二载波产生部，产生相对于所述第一载波信号相位存在π/2+θ弧度的差异的第二载波信号；第一移位传感器，根据所述第一径向方向的旋转轴位置移位而调制所述第一载波信号，且输出第一调制信号；第二移位传感器，根据所述第二径向方向的旋转轴位置移位而调制所述第二载波信号，且输出第二调制信号；第一解调部，在从所述第一载波信号成为波峰的时点偏移相位θ后的取样时点，对所述第一调制信号进行取样并进行解调；第二解调部，在从所述第二载波信号成为波峰的时点偏移相位‑θ后的取样时点，对所述第二调制信号进行取样并进行解调；及控制部，基于所述第一解调部及所述第二解调部的解调结果控制所述第一径向电磁铁及所述第二径向电磁铁的电流。