热敏电阻用金属氮化物材料及制法和薄膜型热敏电阻传感器

摘要

本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜在薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：(M_1-vA_v)_xAl_y(N_1-wO_w)_z表示的金属氮化物构成，其中，M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种，并且A表示Sc、Zr、Mo、Nb及W中的至少一种，0.0＜v＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用M-A-Al合金溅射靶在含氮及氧的气氛中进行反应性溅射而成膜。

主权项

一种热敏电阻用金属氮化物材料，其是用于热敏电阻的金属氮化物材料，其特征在于，由以通式：(M_1‑vA_v)_xAl_y(N_1‑wO_w)_z表示的金属氮化物构成，其中，M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种，并且A表示Sc、Zr、Mo、Nb及W中的至少一种，0.0＜v＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，所述热敏电阻用金属氮化物材料的结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。