基板的输送装置及输送方法

摘要

本发明提供一种基板的输送装置和输送方法。该基板的输送装置具备：设定一对导轨(1)的间隔的旋转驱动源(9)；支承由一对导轨支承宽度方向两端部的基板的下面的工作台(3)；喷嘴体(19)，使正压或负压的气压作用于位于一对导轨间的工作台的宽度方向的端面；压力传感器(24)，当伴随基板的尺寸变更、工作台更换为不同宽度尺寸的工作台时，通过边使气压从喷嘴体作用于更换后的工作台的侧面，边向接近工作台侧面的方向驱动设置了喷嘴体的导轨，检测因喷嘴体与工作台的侧面的间隔变化而产生的气体的压力变化；和控制装置，利用压力传感器检测的、流过喷嘴体的气体的压力变化，控制旋转驱动源的驱动，设定一对导轨的间隔。

主权项

一种基板的输送装置，利用平行地离开相对而配置的一对导轨来支承基板的宽度方向的两端部而进行输送，其特征在于：具备：驱动机构，在彼此接近的方向上驱动上述一对导轨的至少一个；工作台，设置在上述一对导轨之间，支承由上述一对导轨支承宽度方向两端部的基板的下表面；喷嘴体，设置在由上述驱动机构驱动的至少一个导轨上，使正压或负压的气压作用于位于一对导轨间的上述工作台的宽度方向的端面；压力传感器，边使正压或负压的气压从上述喷嘴体作用于上述工作台的侧面，边由上述驱动机构向接近上述工作台的侧面的方向驱动设置了上述喷嘴体的至少一个导轨，从而检测因上述喷嘴体与上述工作台的侧面的间隔变化而产生的、流过上述喷嘴体的气体的压力变化；和控制机构，利用该压力传感器检测的、流过上述喷嘴体的上述气体的压力变化，控制上述驱动机构的驱动，设定上述一对导轨的间隔。