发明名称 一种大片晶片提篮
摘要 本发明公开了一种大片晶片提篮,它包括提篮架(5)和晶片放置架,所述的提篮架的两侧设置有挡板(1),所述的挡板(1)上下两层上均开设有多个通孔,通孔内套装有螺杆(2)且上下两层的螺杆(2)相互平行,位于挡板(1)之间的螺杆(2)上套装有一防滑滚筒(3),所述的晶片放置架由上层两个防滑滚筒(3)和与之对应的下层两个防滑滚筒(3)组成,所述的防滑滚筒(3)上开设有多个间隔分布的方形槽(4),方形槽(4)的宽度与晶片的宽度相同。本发明的有益效果是:超声波功率稳定、清洗质量好和减少晶片报废的优点。
申请公布号 CN104368560A 申请公布日期 2015.02.25
申请号 CN201410615159.4 申请日期 2014.11.05
申请人 东晶锐康晶体(成都)有限公司 发明人 赵仑;杨志刚
分类号 B08B3/12(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 主分类号 B08B3/12(2006.01)I
代理机构 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 代理人 袁英
主权项 一种大片晶片提篮,其特征在于:它包括提篮架(5)和晶片放置架,所述的提篮架的两侧设置有挡板(1),所述的挡板(1)上下两层上均开设有多个通孔,通孔内套装有螺杆(2)且上下两层的螺杆(2)相互平行,位于挡板(1)之间的螺杆(2)上套装有一防滑滚筒(3),所述的晶片放置架由上层两个防滑滚筒(3)和与之对应的下层两个防滑滚筒(3)组成,所述的防滑滚筒(3)上开设有多个间隔分布的方形槽(4),方形槽(4)的宽度与晶片的宽度相同。
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