发明名称 BRUSH CLEANING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR SLICES
摘要
申请公布号 US3585668(A) 申请公布日期 1971.06.22
申请号 USD3585668 申请日期 1969.06.02
申请人 BELL TELEPHONE LABORATORIES INC. 发明人 RALPH J. JACCODINE;DONALD R. OSWALD
分类号 B08B1/02;H01L21/00;(IPC1-7):A46B13/04 主分类号 B08B1/02
代理机构 代理人
主权项
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