ガス排気用ポンプの回転機構およびその製造方法、並びにその回転機構を備えるガス排気用ポンプ及びその製造方法

摘要

ガス排気用ポンプにおいて、回転軸とシールハウジングとの間隙を従来に比べて格段に狭小にしても回転の安全性の確保を取ることができ、シールガスの使用量も抑えられる回転機構を提供する。本発明の回転機構は、回転軸（１０５）とシールハウジング（１０８）で構成される。回転軸（１０５）とシールハウジング（１０８）とは、所定の間隙（１１７）を設けて配設される。回転軸（１０５）の外表面（１１９）及びシールハウジング（１０８）の内表面（１１８）の少なくとも一方には、構造式１で示されるＰＦＡ膜が設けてある。回転軸（１０５）とシールハウジング（１０８）（両者合わせて「回転機構部材」という。）の少なくとも一方の表面に設けられるＰＦＡ膜（１２０）は、回転機構部材の少なくとも間隙（１１７）を形成する壁面にＰＦＡを塗装後、溶融と再溶融の過程を経て形成されることで、その自由表面に高い平滑性が付与される。