薄膜形成方法及び薄膜形成装置

摘要

基板の表面の、薄膜パターンを形成する領域の縁への、薄膜材料の液滴の着弾と、着弾した薄膜材料の硬化とを繰り返すことにより、薄膜パターンを形成する領域の縁に、薄膜材料からなるエッジパターンを形成する。エッジパターンで縁が画定された内部領域に、薄膜材料の液滴を着弾させる。内部領域に着弾した薄膜材料を硬化させる。エッジパターンと内部領域に着弾した薄膜材料とからなる薄膜パターンが形成される。