| 摘要 |
<p>サセプタ装置（３０）は、基板が載置される載置部（３１）と、載置部（３１）に設けられ、基板の搬入又は搬出の際には載置部（３１）よりも上側に突出して載置部（３１）上に載置された基板を支持するリフトピン（４０）と、リフトピン（４０）を上下動させるリフトピン移動手段とを備え、基板の搬入又は搬出の際には、基板をリフトピン（４０）で支持した状態でリフトピン移動手段によりリフトピン（４０）を上下動させ基板を上下動させるサセプタ装置（３０）であって、リフトピン（４０）を移動させる場合には、基板とリフトピン（４０）とが当接する直前で移動スピードを低下させるようにリフトピン移動手段を制御する制御部（６３）を備える。</p> |
