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发明名称
センサ装置
摘要
<p>本発明の目的は、検出精度を向上したセンサ装置を提供すること。外部の装置が接続される外部端子2と、グラウンドと接地される接地端子3と、センサ出力信号を生成する内部回路4と、前記外部端子と前記内部回路との間に設けた抵抗素子6および容量素子7とからなる保護回路5と、を有するセンサ装置において、前記容量素子は、互いに異なる導電率を有する電極対から構成されており、前記電極対のうち一方よりも低い導電率を有する低導電性電極7aを前記外部端子および前記内部回路に接続した。</p>
申请公布号
JPWO2013018134(A1)
申请公布日期
2015.02.23
申请号
JP20130526608
申请日期
2011.08.03
申请人
发明人
分类号
H01L21/822;H01L27/04
主分类号
H01L21/822
代理机构
代理人
主权项
地址
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