| 发明名称 |
研磨垫及其制造方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI473685 |
申请公布日期 |
2015.02.21 |
| 申请号 |
TW097101474 |
申请日期 |
2008.01.15 |
| 申请人 |
智胜科技股份有限公司 |
发明人 |
李炫宗;王昭钦;张辉哲 |
| 分类号 |
B24D7/02;B24D7/18;B24D18/00 |
主分类号 |
B24D7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
| 主权项 |
一种研磨垫的制造方法，该研磨垫用以研磨一物件，包括：提供一研磨垫半成品；以及在该研磨垫半成品的表面上形成一移动轨迹，其中该移动轨迹与该物件在该研磨垫上的研磨轨迹大致相同，且在形成该移动轨迹的步骤之后，更包括形成至少一沟槽于该研磨垫半成品上，其中在形成该移动轨迹步骤之同时，更包括对该研磨垫半成品进行一整平步骤。 |
| 地址 |
台中市西屯区工业区九路12号 |
