高效能高准确度加热驱动器

主权项

一种快速热制程腔室，其处理一晶圆，且被供应有一交流功率，该快速热制程腔室包含：复数个卤素灯具；一灯具驱动器，包含一第一二极体及一第一电晶体与一第二二极体及一第二电晶体的并联连接，该灯具驱动器连接至一交流功率源且连接至该复数个卤素灯具，以供应功率给该复数个卤素灯具；一温度感测器，其测量一晶圆温度；以及一温度控制器，其连接至该温度感测器与该灯具驱动器，该温度控制器提供一第一控制讯号至该第一电晶体且提供一第二控制讯号至该第二电晶体，该第一控制讯号为该晶圆温度与一期望温度之一函数，而该第二控制讯号为该晶圆温度与该期望温度之一函数；以及其中该第一电晶体在不同于该第二电晶体之时间开启。