具有锥状狭缝之微型光谱仪之光机模组及其狭缝结构

主权项

一种具有锥状狭缝之微型光谱仪之光机模组，包含：一输入部，包含一狭缝结构，用以接收一第一光学讯号并输出一第二光学讯号沿着一第一光路行进；一微型绕射光栅，设置于该第一光路上，用以接收该第二光学讯号并用以将该第二光学讯号分离成复数个光谱分量沿着一第二光路行进；以及一波导，用以将通过该输入部的该第二光学讯号导引到该微型绕射光栅；其中，该狭缝结构包含一基板及一狭缝，该狭缝贯穿该基板，且在与该波导延伸平面垂直的截面方向上，该狭缝从该基板之一第一面到该基板之一第二面具有渐缩的尺寸，该第一面较该第二面远离该微型绕射光栅。