遮罩资料产生方法

主权项

一种遮罩资料产生方法，该方法使用电脑产生用于多重构图的包含第一遮罩和第二遮罩的多个遮罩的资料，该多重构图使用第一遮罩将基板构图并接着使用第二遮罩将该基板构图，该方法包括：获得包含多个图案元素的图案的资料；透过使用获得的图案的资料将图案的区域分成多个部分以使得该多个图案元素的各图案元素被布置在一部分中，并产生包含指示各部分中的图案元素的有无的资讯的映射资料；透过使用约束条件和该映射资料，对于包含图案元素的每一部分设定多条遮罩个别资讯中的一条遮罩个别资讯，该约束条件禁止在包含一个部分及其周围的部分的约束区域中设定相同遮罩个别资讯；和透过使用设定的遮罩个别资讯产生与该多条遮罩个别资讯对应的该多个遮罩的资料。