| 发明名称 |
带电粒子束系统及在一带电粒子束系统中引导带电粒子束的方法 |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
TWI474359 |
申请公布日期 |
2015.02.21 |
| 申请号 |
TW101138507 |
申请日期 |
2006.05.12 |
| 申请人 |
ＦＥＩ公司 |
发明人 |
西尔 雷蒙;罗森伯格 史帝夫 艾克;陶纳 Ｂ 丹尼尔 |
| 分类号 |
H01J3/00;H01J3/26 |
主分类号 |
H01J3/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼 |
| 主权项 |
一种用于在一带电粒子束系统中引导带电粒子束的方法，其包含：施加一偏向信号至一级偏向器，该偏向信号对应于一停留点；施加一遮没(blanking)信号至一遮没电极且将一由自遮断器至该偏向器之离子行进时间导致的延迟并入该偏向器信号中，其中该延迟系由该束中之一粒子在该遮断器与该偏向器之间的飞行时间所判定的。 |
| 地址 |
美国 |
