| 主权项 |
一种光罩，其系具有将配置有复数个孤立图案的中心点的长方形、平行四边形或六角形的单位区域邻接重复配置而成的图案区域，其特征为：设定由该单位区域内的该中心点构成的复数个德洛内三角形、与横跨该单位区域和邻接的其他单位区域的边界线而构成的复数个德洛内三角形的面积总合成为与该单位区域的面积相同之德洛内三角形群，令构成此三角形群的复数个德洛内三角形的面积的平均值为A，标准偏差为B时，该中心点系满足以下的条件而配置，70μm2≦A≦120μm20.05≦B/A≦0.25。一种扩散反射板，其系在将配置有复数个凹凸部的中心点的长方形、平行四边形或六角形的单位区域邻接重复配置而成，其特征为：设定由该单位区域内的该中心点构成的复数个德洛内三角形、与横跨该单位区域和邻接的其他单位区域的边界线而构成的复数个德洛内三角形的面积总合成为与该单位区域的面积相同之德洛内三角形群，令构成此三角形群的复数个德洛内三角形的面积的平均值为A，标准偏差为B时，该中心点系满足以下的条件而配置，70μm2≦A≦120μm20.05≦B/A≦0.25。一种彩色滤光片，系在如申请专利范围第2项所述之扩散反射板上具备反射膜，在此反射膜上配设着色树脂而成。一种光罩的制造方法，包含：(i)、在邻接的K个德洛内三角形群中算出三角形的面积的平均值A以及标准偏差B之步骤；(ii)、算出第k个(k=1~K)德洛内三角形的面积S(k)之步骤；(iii)、算出S(k)与A的差分△(△=S(k)-A)的绝对值|△|之步骤；(iv)、特定|△|>B的德洛内三角形的号码之步骤；(v)、由所特定的德洛内三角形选择一个三角形，三角形的三个中心点中选择与不包含于此三角形的邻接的中心点之距离为最短的中心点之步骤；(vi)、移动所选择的中心点的座标(x,y)到座标(x+1,y)之步骤；(vii)、计算步骤(vi)中的移动后的平均值A与德洛内三角形的面积S(k’)的差分△’(△’=S(k’)-A)的绝对值|△’|之步骤；(viii)、于|△’|<|△|的情形移动中心点O1到座标(x+1,y)，于|△’|>|△|的情形移动到座标(x-1,y)，于|△’|=|△|的情形不移动之步骤；(ix)、再度特定|△|>B的德洛内三角形的号码之步骤；(x)、由所特定的德洛内三角形选择一个三角形，三角形的三个中心点中选择与不包含于此三角形的邻接的中心点之距离为最短的中心点之步骤；(xi)、移动所选择的中心点的座标(x,y)到座标(x,y+1)之步骤；(xii)、计算步骤(xi)中的移动后的平均值A与德洛内三角形的面积S(k”)的差分△”(△”=S(k”)-A)的绝对值|△”|之步骤；(xiii)、于|△”|<|△’|的情形移动中心点O1到座标(x,y+1)，于|△”|>|△’|的情形移动到座标(x,y-1)，于|△”|=|△’|的情形不移动之步骤；以及(xiv)、对所有被特定的德洛内三角形实行(v)~(xiii)，重复到最终的平均值A、标准偏差B满足以下的条件(1)以及(2)为止之步骤，(1)、70μm2≦A≦120μm2(2)、0.05≦B/A≦0.25，具备在所决定的中心点配置孤立图案之步骤。一种扩散反射板的制造方法，其特征包含：藉由申请专利范围第4项所述之光罩而曝光光阻之步骤；显影已曝光的光阻之步骤；以及在所显影的光阻上形成反射膜之步骤。一种彩色滤光片的制造方法，其特征为：在申请专利范围第5项所述之扩散反射板上配设着色树脂。 |
