| 发明名称 | 光学式加速度计 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWI474003 | 申请公布日期 | 2015.02.21 |
| 申请号 | TW101134619 | 申请日期 | 2012.09.20 |
| 申请人 | 原相科技股份有限公司 | 发明人 | 王维中;陈晖暄 |
| 分类号 | G01P15/093;G01P15/18 | 主分类号 | G01P15/093 |
| 代理机构 | 代理人 | 花瑞铭 高雄市前镇区中山二路7号14楼 | |
| 主权项 | 一种光学式加速度计，包含：一第一基板，包含：一框体；一可动件，沿至少一方向形成有周期性开口以作为一绕射光栅；及至少一弹性元件，连接于该框体与该可动件间；一第二基板，包含至少一感测单元用以感测该绕射光栅形成之一零阶绕射图案及一第一阶绕射图案；一间隙层，设置于该第一基板及该第二基板间，用以界定一预设高度；以及一处理单元，耦接该感测单元，用以根据该零阶绕射图案之一位置变化计算一共平面加速度。 | ||
| 地址 | 新竹县新竹科学工业园区创新一路5号5楼 | ||