| 摘要 |
1. Способ получения покрытий алмазоподобного углерода, включающий генерацию газоразрядной плазмы, высоковольтную эмиссию из плазмы распыляющих ионов, распыление ускоренными ионами мишени (графит), с образованием паров углерода, конденсацию паров и ионов углерода на подложке, контактирующей с газоразрядной плазмой, отличающийся тем, что поток паров углерода напускают в катодную и анодную полости через отверстие в дне полого катода во встречном направлении потоку ускоренных до 10 кВ распыляющих ионов и ионизуют в разряде с полым катодом, часть потока пара выпускают через эмиссионный канал в отражательном катоде в одном направлении и совместно с потоком извлекаемых ионов углерода и ионов плазмообразующего инертного газа, осаждение паров и ионов углерода ведут при прямом управляемом воздействии ионами плазмообразующего инертного газа энергией 0,12 кэВ.2. Устройство для получения покрытий алмазоподобного углерода, содержащее графитовую мишень, полый и отражательный катоды, цилиндрический анод, магнитную систему, систему напуска газа, источники электрического питания и подложку, отличающееся тем, что в торцевых стенках цилиндрического полого катода выполнены два осевых соосных отверстия, в одном отверстии на дне полого катода устанавливают изолированную от полого катода графитовую мишень под высоким отрицательным электрическим потенциалом, другое отверстие связывает катодную и анодную полости, отражательном катоде выполнен осевой эмиссионный канал, на периферии которого размещена подложка под отрицательным электрическим потенциалом, на которую направляют пары углерода, ионы углерода и ионы плазмооб� |
