发明名称 一种可以采用类金刚石薄膜铝基板的功率模块
摘要 本发明公开了一种可以采用类金刚石薄膜铝基板的功率模块(包括IGBT,MOSFE,二极管等功率模块),结构包括硅凝胶(1)、金属电极(2)、铝基板(3)、类金刚石薄膜(4)、铜膜(5)、焊膏(6)、功率芯片(7)和铝线(8)。该功率模块适用于MOSFET、IGBT、二极管等功率器件。类金刚石薄膜(DLC)(4)铝基板(3)具有材料稳定、绝缘性好、导热率高等特点,大大降低了模块的热阻和封装成本,可以取代传统的DBC封装。
申请公布号 CN104362130A 申请公布日期 2015.02.18
申请号 CN201410671812.9 申请日期 2014.11.21
申请人 佛山芯光半导体有限公司 发明人 何志;谢刚;任延吉
分类号 H01L23/08(2006.01)I;H01L23/373(2006.01)I 主分类号 H01L23/08(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种可以采用类金刚石薄膜铝基板的功率模块(包括IGBT,MOSFE,二极管等功率模块),包括硅凝胶(1)、金属电极(2)、铝基板(3)、类金刚石薄膜(4)、铜(5)、焊膏(6)、功率芯片(7)和铝线(8),其特征在于,该功率模块适用于MOSFET、IGBT、二极管等功率器件。
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