| 发明名称 | 静电卡盘 | ||
| 摘要 | 静电卡盘（1A）～（1F）包括具有吸附半导体的吸附面（11a）的基座（11A）～（11F）、埋设在基座内的静电卡盘电极（4）。基座包括板状主体部（3）、面对吸附面的表面耐腐蚀层（2）。表面耐腐蚀层（2）为以镁、铝、氧以及氮为主要成分的陶瓷材料，由以在氧化镁中固溶了氮化铝的MgO-AlN固溶体的结晶相作为主相的陶瓷材料构成。 | ||
| 申请公布号 | CN103201235B | 申请公布日期 | 2015.02.18 |
| 申请号 | CN201180050721.8 | 申请日期 | 2011.10.11 |
| 申请人 | 日本碍子株式会社 | 发明人 | 相川贤一郎;渡边守道;神藤明日美;胜田祐司;佐藤洋介;矶田佳范 |
| 分类号 | C04B35/581(2006.01)I;C04B35/04(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I | 主分类号 | C04B35/581(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 徐晓静 |
| 主权项 | 一种静电卡盘，其包括：具有吸附半导体的吸附面的基座；与埋设到该基座内的静电卡盘电极，所述静电卡盘的特征在于，所述基座包括板状主体部与面对所述吸附面的表面耐腐蚀层，所述表面耐腐蚀层为以镁、铝、氧以及氮为主要成分的陶瓷材料，由以在氧化镁中固溶了氮化铝的MgO‑AlN固溶体的结晶相作为主相的通过热压烧成的陶瓷材料构成，所述MgO‑AlN固溶体的使用CuKα线时的(200)面及(220)面的XRD波峰出现在氧化镁的立方晶的波峰与氮化铝的立方晶的波峰之间的2θ＝42.9～44.8°、62.3～65.2°。 | ||
| 地址 | 日本国爱知县名古屋市瑞穗区须田町2番56号 | ||