主权项 |
一种干涉测量光学材料均匀性的方法,采用干涉仪测量光学材料均匀性,其特征在于该方法包括下列步骤:①将待测的光学材料加工成样品(3),该样品的前后表面具有一定的夹角α,样品的前后表面的面形应符合干涉测量要求,一般波面误差不大于3.3微米,满足如下条件,使前后表面的反射光分开:<maths num="0001" id="cmaths0001"><math><![CDATA[<mrow><mrow><mo>(</mo><mfrac><mrow><mn>2</mn><msqrt><msup><mi>n</mi><mn>2</mn></msup><mo>-</mo><msup><mi>sin</mi><mn>2</mn></msup><mi>θ</mi></msqrt></mrow><mrow><mi>cos</mi><mi>θ</mi></mrow></mfrac><mo>)</mo></mrow><mi>α</mi><mo>></mo><mi>δ</mi></mrow>]]></math><img file="FDA0000561161980000011.GIF" wi="487" he="159" /></maths>其中δ为干涉仪的分辨角度,n为样品平均折射率,θ为入射角;②调整干涉仪的标准透射镜(1)和标准反射镜(2)平行,启动干涉仪,测量干涉仪的标准反射镜(2)的波面误差C(x,y);③在所述的标准透射镜(1)和标准反射镜(2)之间放入所述的样品(3),干涉仪出射光束对样品(3)的入射角为θ,定义样品表面法线转动到入射光束时逆时针为正,再测量透过样品的标准反射镜(2)的波面误差为T1(x,y);④重新放置所述的样品(3),该样品的位置与第③步中样品(3)的位置关于干涉仪光轴对称,即干涉仪出射光束对样品(3)的入射角为‑θ,再测量透过样品的标准反射镜(2)的波面误差为T2(x,y);⑤移动所述的标准反射镜(2),使所述的标准反射镜(2)与所述的样品(3)的前表面的反射光垂直,测量经样品的前表面反射的标准反射镜(2)的波面误差为A(x,y);⑥调整所述的标准反射镜(2),使所述的标准反射镜(2)与透过样品的后表面的反射光垂直,测量透过样品经过样品后表面反射的标准反射镜(2)的波面误差为B(x,y);⑦数据处理:计算样品前表面的面形分布Z<sub>a</sub>(x,y):<maths num="0002" id="cmaths0002"><math><![CDATA[<mrow><msub><mi>Z</mi><mi>a</mi></msub><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><mo>=</mo><mfrac><mrow><mi>A</mi><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><mo>-</mo><mi>C</mi><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow></mrow><mrow><mn>4</mn><mi>cos</mi><mi>θ</mi></mrow></mfrac><mo>;</mo></mrow>]]></math><img file="FDA0000561161980000012.GIF" wi="569" he="144" /></maths>计算Z<sub>a</sub>(x+Δx,y):将Z<sub>a</sub>(x,y)水平移位Δx=2t·tgθ'·cosθ;计算样品后表面的面形分布Z<sub>b</sub>(x,y):<maths num="0003" id="cmaths0003"><math><![CDATA[<mrow><msub><mi>Z</mi><mi>b</mi></msub><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><mo>=</mo><mfrac><mrow><mi>B</mi><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><mo>+</mo><mi>C</mi><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><mo>-</mo><mi>T</mi><mn>1</mn><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><mo>-</mo><mi>T</mi><mn>2</mn><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><mo>-</mo><mn>2</mn><mo>[</mo><msub><mi>Z</mi><mi>a</mi></msub><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><mo>-</mo><msub><mi>Z</mi><mi>a</mi></msub><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>+</mo><mi>Δx</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><mo>]</mo><mrow><mo>(</mo><mi>n</mi><mi>cos</mi><msup><mi>θ</mi><mo>′</mo></msup><mo>-</mo><mi>cos</mi><mi>θ</mi><mo>)</mo></mrow></mrow><mrow><mn>4</mn><mi>cos</mi><mi>θ</mi></mrow></mfrac></mrow>]]></math><img file="FDA0000561161980000013.GIF" wi="1657" he="124" /></maths>计算θ方向均匀性分布Δn<sub>+</sub>(x,y):<maths num="0004" id="cmaths0004"><math><![CDATA[<mrow><mi>Δ</mi><msub><mi>n</mi><mo>+</mo></msub><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><mo>=</mo><mfrac><mrow><mi>T</mi><mn>1</mn><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><mo>-</mo><mi>C</mi><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><mo>-</mo><mn>2</mn><mo>[</mo><msub><mi>Z</mi><mi>a</mi></msub><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><mo>+</mo><msub><mi>Z</mi><mi>b</mi></msub><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><mo>]</mo><mrow><mo>(</mo><mi>n</mi><mi>cos</mi><msup><mi>θ</mi><mo>′</mo></msup><mo>-</mo><mi>cos</mi><mi>θ</mi><mo>)</mo></mrow></mrow><mrow><mn>2</mn><mfrac><mi>t</mi><mrow><mi>cos</mi><msup><mi>θ</mi><mo>′</mo></msup></mrow></mfrac></mrow></mfrac></mrow>]]></math><img file="FDA0000561161980000021.GIF" wi="1388" he="200" /></maths>计算‑θ方向均匀性分布Δn<sub>‑</sub>(x,y):Δn<sub>‑</sub>(x,y)=Δn<sub>+</sub>(x,y)‑T1(x,y)+T2(x,y)计算折射率均匀性Δn:<maths num="0005" id="cmaths0005"><math><![CDATA[<mrow><mi>Δn</mi><mo>=</mo><mfrac><mrow><msub><mrow><mo>(</mo><mi>Δ</mi><msub><mi>n</mi><mo>+</mo></msub><mo>)</mo></mrow><mi>PV</mi></msub><mo>+</mo><msub><mrow><mo>(</mo><mi>Δ</mi><msub><mi>n</mi><mo>-</mo></msub><mo>)</mo></mrow><mi>PV</mi></msub></mrow><mn>2</mn></mfrac><mo>;</mo></mrow>]]></math><img file="FDA0000561161980000022.GIF" wi="544" he="146" /></maths>其中,(Δn<sub>+</sub>)<sub>PV</sub>为Δn<sub>+</sub>(x,y)的峰谷值,(Δn<sub>‑</sub>)<sub>PV</sub>为Δn<sub>‑</sub>(x,y)的峰谷值,n为样品平均折射率,t为样品厚度,θ为入射角,θ'为折射入样品中的折射角,<img file="FDA0000561161980000023.GIF" wi="382" he="141" />以上在测量时为已知量。 |