抗辐照加固的SOI结构及其制作方法

摘要

抗辐照加固的SOI结构及其制作方法。一种SOI结构抗辐照的制作方法，该方法包括以下步骤：提供两个晶片，在至少一个所述晶片的表面形成绝缘氧化层后；对所述绝缘氧化层进行辐照质子、中子等注入，在绝缘氧化层中引入位移损伤；将两个所述晶片通过所述绝缘氧化层进行键合；对键合后的两个晶片之一进行减薄，形成SOI结构。本发明在利用键合技术制备SOI的过程中，通过向埋氧层中注入质子、中子等引入位移损伤形成复合中心的方法来提高SOI器件的抗辐照性能，同时还避免了对顶层硅层所造成的损伤，不会影响器件的性能。

主权项

一种加固SOI结构抗辐照性能的方法，该方法包括以下步骤：a)提供两个晶片，在两个所述晶片的表面都形成绝缘氧化层；b)利用辐照的方式，对所述绝缘氧化层进行高能粒子注入，所述辐照包括质子、中子、γ射线辐照的一种；c)将两个所述晶片通过所述绝缘氧化层进行键合；d)对键合后的两个晶片之一进行减薄，形成SOI结构。