| 发明名称 |
DEVICE FOR INSPECTING CMOS INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS55166057(A) |
申请公布日期 |
1980.12.24 |
| 申请号 |
JP19790074443 |
申请日期 |
1979.06.12 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TERASAKA KATSUMI;TSUJII YUUZOU |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R31/30;H01L21/66;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
